PRECISE, RELIABLE TRANSFER ROBOT SYSTEM WITH KOREA ROBOT
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SOLAR 트랜스퍼 로봇은 152MM*152MM SOLAR WAFER를 핸들링이 가능한 어플리케이션을 보유하고 있다.
INSPECTION 장비의 싱글 프로세스에 적용된 사례가 있으며, 싱글 프로세스가 필요한 전 공정에 사용 가능하다.
END-EFFECTOR의 경우, 사용하는 환경에 따라 디자인 변경 제공이 가능하며,
FORK TYPE의 VACUUM END-EFRECTOR를 챔버 및 스테이지의 형태에 따라 OEM 제작 공급하고 있다.
SOLAR 웨이퍼 BACK-SIDE의 WARP을 고려하여 고안된 END-EFFECTOR는 양산 팹 라인에서 검증되어 사용되고 있다.
