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200mm부터 300mm까지 공정 자동화를 위한 트랜스퍼 시스템으로,
깔끔하고 컴팩트한 디자인의 코로 EFEM은 다양한 공정의 트랜스퍼 자동화에 주로 공급된다.
스탠다드 타입의 3PORT EFEM은 WTR, PRE-ALIGNER가 장착된다.
LED용 AUTO TRANSFER SYSTEM은 50mm부터 200mm까지 공정 자동화를 위한 트랜스퍼 시스템으로,
작은 footprint 운영이 가능하며, 고객사의 요구사항을 만족하는 디자인으로 공급되고 있다. |
| KM-FLEX-EFEM |
LED AUTO LOADING SYSTEM |
WAFER TRANSFER SYSTEM-BATCH |
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